特種氣體(Specialty gases)是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對(duì)氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。
特種氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè),特種氣體廠,是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料,它們主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。特種氣體中包含了大量的有毒、有害的危險(xiǎn)性大的氣體,因此,特種氣體的使用和貯存有別于普通的工業(yè)氣體。特種氣體按性質(zhì)分類(lèi):腐蝕性氣體、易燃性氣體、氧化氧氣體、惰性氣體、有毒性氣體。
氣體工業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)工業(yè)之一,覆蓋社會(huì)生產(chǎn)的各個(gè)領(lǐng)域,受益于國(guó)民生活,牽動(dòng)著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展。
特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對(duì)氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎(chǔ)化工材料,特種氣體供應(yīng),特種氣體隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展,特種氣體銷(xiāo)售,應(yīng)用范圍越來(lái)越廣泛。
特種氣體門(mén)類(lèi)繁多,通??煞譃殡娮託怏w、環(huán)保氣、醫(yī)用氣等,徐州特種氣體,廣泛應(yīng)用在石油化工、有色金屬、激光、醫(yī)學(xué)、環(huán)境、食品等領(lǐng)域,在國(guó)民經(jīng)濟(jì)高速發(fā)展及下游1行業(yè)的強(qiáng)勁需求下,我國(guó)特種氣體行業(yè)進(jìn)入快速發(fā)展階段。
隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,特種氣體在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中的重要地位和作用日益凸顯。主要體現(xiàn)在煉油行業(yè)、冶金行業(yè)、電子器件、環(huán)保產(chǎn)業(yè)。
1、特種氣體 specialily gas
用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。
2、特種氣體系統(tǒng) speciality gas system
特種氣體系統(tǒng)是指在用戶現(xiàn)場(chǎng)的特種氣體的儲(chǔ)存、輸送與分配全過(guò)程的設(shè)備、管道和部件的總稱(chēng)。
3、特種氣體間 speciality gas room
是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備,并通過(guò)管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。
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